사업분야
- SCROLL
반도체
공정별 장비
- ETCH 장비
- PHOTO 장비
- THINFILM 장비
- DIFFUSION 장비
- HBM 장비
주요 업무
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CHAMBER VENT
장비 교체 특이사항 파악
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CHAMBER OPEN
CHAMBER 내부 특이점 CHECK
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KIT 분해
KIT 분해 > 장비 세정 > KIT 외주세정 반출
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CHAMBER 내부 세정
IPA, DI 및 치공구 이용 내부 세정
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잔여 이물 제거
VACUUM 흡착 및 N2 BLOWING 세정
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KIT 교체 및 조립
외주 세정 반입 KIT 교체 후 정밀 SETTING
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CHAMBER PUMPING
PUMPING / 기타 MACRO 진행
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LEAK CHECK
LEAK CHECK 진행
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DATA 관리
PM SHEET 작성 / S.N 기록 / HYPM 작성
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인계 - 고객사 장비 인계
제조팀 공정 TEST 진행
COMPONENT 업무
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PUMP FAIL
FAIL 발생 원인 파악 후 교체 여부 판단
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CHAMBER VENT
MAIN 장비 VENT 및 AGV CLOSE, PUMP 잔류 GAS PURGE 진행
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PUMP PEMOVE
OLD PUMP 분해 및 INLET/OULET PART 자체 분해세정
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PUMP INSTALL
NEW PUMP 조립 및 ASS'Y PART 조립
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SPEC 검증
BASE CHECK, HE LEAK CHECK를 통한 정상 작동 및 GAS 누출 예방
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인계 - 고객사 장비 인계
장비팀 정상 작동여부 TEST 후 공정 진행