제조설비 TFT – LCD

Preventive Maintenance

상부 분해

• Chamber open / Cap 분리 / 방착판 분리
• Side 방착판 분리 / Floating Mast / 지락선 분리
• Ground shield 분리 / 수냉판 세정
• 방착판 걸이 / Insulator 분해, 조립

Target부 분해, 조립

• Target 표면 세정 / Target 및 냉각수 Bolt 분해
• Target Erosion 측정 및 이동 / 방영판 분리, 세정, 조립
• 방열판 분리, 세정, 조립 / Cathode 및 냉각수부 세정
• Target 세정 및 장착 / Target 및 냉각수 Bolt 조립
• Floating Mask / 지락선 조립 / Ground shield 조립
• Water open 및 저항 Check

Chamber부 분해, 조립

• Clamp 분해, 조립 / Susceptor 확인 및 고정 Bolt 분해, 조립
• Susceptor 상, 중, 하 분해, 조립 / Clamp cup 분해, 세정, 조립
• Gap 조정 및 계도값 측정 / Chamber 내부 세정 / Plaaton 조정
• Floating Mask Gap Check

상부 조립

• Side 방착판 조립 / 방착판 조립 / Gap Check / Cap 조립

PUMPING

• Chamber Close / Pumping / Leak Check

제조설비 TFT – LCD

분기
Preventive Maintenance

Insulator 교체

• Clamp 뭉치 및 Insulator 교체 및 세정