주요 업무 영역
Semiconductor Machine
Maintenance
(CM)
사전 준비
Preventive Maintenance를 위해 필요한 TOOL 준비 및 안전한 작업을 진행하기 위해 TBM등 작업 사전 준비를 실시한다.
Open Macro & Temp Down
Machine Clean Recipe를 실시하여 잔여부유물을 제거 후 작업가능한 환경을 구축하기 위해 Temp down을 실시한다. (공정별 상이할 수 있음)
Preventive Maintenance
Machine 내 Part’s를 Remove하여 Cleaning 또는 Change 작업을 진행 후 Install 실시한다.
Calibration & Test
Cleaning 및 Change된 Part’s가 정상적으로 작동 할 수 있도록 Calibration 및 Test를 진행한다.
Temp Up & Close Macro
Machine 가동을 위해 Temp Up 후 Condition 실시하여 공정 Test실시 할 수 있도록 한다.
주변 정리 정돈
3S 실시 및 Remove Part’s 폐기 및 세정 반출을 한다.
Semiconductor Machine
Component Change
사전 준비
PUMP Change를 위해 필요한 TOOL 준비 및 안전한 작업을 진행하기 위해 TBM등 작업 사전 준비를 실시한다. Main Machine Offline 확인 후 작업 준비를 실시한다.
Pump Remove
Vacuum Line 내 Accessory Remove 및 Pump Off 후 Remove를 실시한다.
Cleaning
Vacuum Line 내 잔여 부유물 Cleaning한다
Pump Install
Accessory 및 Pump를 Install한다.
Power On & Test
Power On 후 정상 가동 여부를 확인한다.
주변 정리 정돈
3S 실시 및 Remove Pump 세정 반출을 한다. Main Machine Online 한다.