DRY PUMP

드라이펌프(Dry pump)는 일반적으로 ATM에서 저진공 까지 만들기 위한 pumping 장치로 사용된다. 

Dry의 이름이 붙은 이유는 기존의 펌프가 오일(Oil)을 사용하던 시절 오일을 사용하지 않고 pumping하는 펌프를 개발하고 이를 dry라고 명명한 데서 발생한 게 아닌가 한다. 어쨌든 dry pump는 청정 공간인 크린룸에서는 당연히 사용하는 펌프가 되었다.

드라이 펌프는 현장에서 거의 모든 진공 설비에 사용되어 진다. 저 진공 설비에서는 단독으로 사용되고 고진공 설비에서는 고진공 펌프 후단에 이 펌프를 사용하게 된다.

드라이 펌프는 챔버(Chamber)의 기체를 pumping하여 제거하는 데 사용된다. 가스가 유입이 없는 경우에는 챔버의 압력을 낮추기 위해서 사용되고 공정 중에는 가스의 흐름을 만들기 위한 pumping용으로 사용된다.

고진공 펌프의 성능상 챔버를 ATM에서 roughing pressure까지는 dry pump가 담당하고 이후에서 고진공 펌프가 pumping 하게 되는데 고진공 펌프 후단의 압력을 낮추는 데 사용되어진다.

현장에서 Dry pump는 유틸리티에 가깝게 운용된다. Air나 house vacuum 처럼 항상 구동되고 있으며 수리나 특별한 경우가 아니면 멈추지 않는다.